6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers ប្រភេទ 4H-N សម្រាប់ការស្រាវជ្រាវផលិតកម្ម MOS ឬ SBD និងថ្នាក់អត់ចេះសោះ
វាលកម្មវិធី
ស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ ស៊ីលីកុនកាបៃទំហំ 6 អ៊ីញដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មជាច្រើន។ ទីមួយ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor សម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានថាមពលខ្ពស់ដូចជា ត្រង់ស៊ីស្ទ័រថាមពល សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា និងម៉ូឌុលថាមពល។ ភាពធន់នឹងកំដៅខ្ពស់ និងធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់វា ធ្វើឱ្យការសាយភាយកំដៅបានប្រសើរជាងមុន ដែលនាំឱ្យប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាព និងភាពជឿជាក់។ ទីពីរ wafers ស៊ីលីកុន carbide មានសារៈសំខាន់ក្នុងវិស័យស្រាវជ្រាវសម្រាប់ការអភិវឌ្ឍសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ថ្មី។ លើសពីនេះទៀត silicon carbide wafer រកឃើញកម្មវិធីទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យ optoelectronics រួមទាំងការផលិត LEDs និង diodes ឡាស៊ែរ។
លក្ខណៈបច្ចេកទេសផលិតផល
ស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ ស៊ីលីកុនកាបៃ 6 អ៊ីញមានអង្កត់ផ្ចិត 6 អ៊ីង (ប្រហែល 152.4 ម.ម)។ ភាពរដុបនៃផ្ទៃគឺ Ra < 0.5 nm និងកម្រាស់គឺ 600 ± 25 μm។ ស្រទាប់ខាងក្រោមអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងជាមួយនឹងចរន្ត N-type ឬ P-type ដោយផ្អែកលើតម្រូវការរបស់អតិថិជន។ លើសពីនេះទៅទៀត វាបង្ហាញនូវស្ថេរភាពមេកានិចពិសេស ដែលអាចទប់ទល់នឹងសម្ពាធ និងរំញ័រ។
អង្កត់ផ្ចិត | 150 ± 2.0 មម (6 អ៊ីញ) | ||||
កម្រាស់ | 350 μm± 25μm | ||||
ការតំរង់ទិស | នៅលើអ័ក្ស៖ <0001>±0.5° | អ័ក្សបិទ: 4.0° ឆ្ពោះទៅ 1120±0.5° | |||
ពហុប្រភេទ | 4H | ||||
ភាពធន់ (Ω·សង់ទីម៉ែត្រ) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
ការតំរង់ទិសផ្ទះល្វែងបឋម | {10-10}±5.0° | ||||
ប្រវែងសំប៉ែតបឋម (មម) | 47.5 មម± 2.5 ម។ | ||||
គែម | Chamfer | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Front (Si-face) | ប៉ូឡូញ Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
ធីធីវី | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
សំបកក្រូច / រណ្តៅ / ប្រេះ / ការចម្លងរោគ / ស្នាមប្រឡាក់ / ស្នាមប្រឡាក់ | គ្មាន | គ្មាន | គ្មាន | ||
ចូលបន្ទាត់ | គ្មាន | គ្មាន | គ្មាន |
ស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ ស៊ីលីកុន កាបៃទំហំ 6 អ៊ីញ គឺជាសម្ភារៈដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor, ការស្រាវជ្រាវ, andoptoelectronics ។ វាផ្តល់នូវចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពមេកានិច និងភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដែលធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលមានថាមពលខ្ពស់ និងការស្រាវជ្រាវសម្ភារៈថ្មី។ យើងផ្តល់ជូននូវការបញ្ជាក់ និងជម្រើសប្ដូរតាមបំណងជាច្រើន ដើម្បីបំពេញតម្រូវការអតិថិជនចម្រុះ។ទាក់ទងមកយើងសម្រាប់ព័ត៌មានលម្អិតអំពី wafers ស៊ីលីកុន carbide!