បន្ទះស៊ីលីកុនប្រភេទ N ឬប្រភេទ P ទំហំ 6 អ៊ីញ ធ្វើពីស៊ីលីកុន CZ Si
ការណែនាំអំពីប្រអប់ wafer
លក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃបន្ទះស៊ីលីកុន៖
ការលូតលាស់បន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ៖ CZ, MCZ, FZ។
ថ្នាក់ទី 6 បន្ទះស៊ីលីកុន៖ ស្រទាប់ស្តើង ស្រទាប់សាកល្បង ស្រទាប់ទន់ ជាដើម។
បន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ អង្កត់ផ្ចិត៖ ៦អ៊ីញ/១៥០មម។
បន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ កម្រាស់៖ ២០០~ ៣០០០អ៊ុម។
បន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ បញ្ចប់៖ កាត់ លាប ឆ្លាក់ SSP DSP ជាដើម។
ទិសដៅបន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ៖ (១០០) (១១១) (១១០) (៥៣១) (៥៥៣) ជាដើម។
បន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ កាត់មិនចេញ៖ រហូតដល់ ៤ដឺក្រេ។
ប្រភេទ/សារធាតុបន្ថែមស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ៖ P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic។
បន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ រេស៊ីស្តង់៖ CZ/MCZ៖ ពី ០,០០១ ដល់ ១០០០ អូម-សង់ទីម៉ែត្រ។ FZ៖ រហូតដល់ ២០k អូម-សង់ទីម៉ែត្រ។
បន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ ស្រទាប់ស្តើងៗ៖ (ក) PVD៖ Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. ជាដើម កម្រាស់ថ្នាំកូតរហូតដល់ 20.000A/5%។
(ខ) LPCVD/PECVD៖ អុកស៊ីដ នីទ្រីត ស៊ីអ៊ីស៊ី ជាដើម កម្រាស់ថ្នាំកូតរហូតដល់ 200.000A/3%។
(គ) បន្ទះស៊ីលីកុនអេពីតាក់ស៊ីល និងសេវាកម្មអេពីតាក់ស៊ីល (SOS, GaN, GOI ។ល។)។
ដំណើរការបន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៦អ៊ីញ៖ ក.DSP ស្តើងខ្លាំង សំប៉ែតខ្លាំង ជាដើម។
ខ. ការបន្ថយទំហំ ការកិនត្រឡប់មកវិញ ការកាត់ជាដុំៗ។ល។ គ. MEMS។
ចាប់តាំងពីឆ្នាំ ២០១០ មក ក្រុមហ៊ុន Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd បានប្តេជ្ញាផ្តល់ជូនអតិថិជននូវដំណោះស្រាយបន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៤ អ៊ីញដ៏ទូលំទូលាយ ចាប់ពីបន្ទះស៊ីលីកុនកម្រិត Dummy Wafer បន្ទះស៊ីលីកុនកម្រិតសាកល្បង រហូតដល់បន្ទះស៊ីលីកុនកម្រិតផលិតផល Prime Wafer ក៏ដូចជាបន្ទះស៊ីលីកុនពិសេស បន្ទះស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ បន្ទះស៊ីលីកុននីទ្រីត Si3N4 បន្ទះស៊ីលីកុនស្រោបទង់ដែង បន្ទះស៊ីលីកុន SOI បន្ទះកញ្ចក់ MEMS បន្ទះស៊ីលីកុនក្រាស់ខ្លាំង និងបន្ទះស៊ីលីកុនរាបស្មើខ្លាំងតាមតម្រូវការ។ល។ ដែលមានទំហំចាប់ពី ៥០ ម.ម-៣០០ ម.ម ហើយយើងអាចផ្តល់ជូនបន្ទះស៊ីលីកុនពាក់កណ្តាលសៀគ្វីជាមួយនឹងការប៉ូលាម្ខាង/ទ្វេ ការស្តើង ការកាត់ជាដុំៗ MEMS និងសេវាកម្មដំណើរការ និងប្ដូរតាមបំណងផ្សេងៗទៀត។
ដ្យាក្រាមលម្អិត







