ម៉ាស៊ីនប៉ូលា អ៊ីយ៉ុង ប៊ីម សម្រាប់ត្បូងកណ្តៀង SiC Si
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផលនៃម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុង
ម៉ាស៊ីនគណនា និងប៉ូឡូញ អ៊ីយ៉ុង ប៊ីម ផ្អែកលើគោលការណ៍នៃការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុង។ នៅខាងក្នុងបន្ទប់ទំនេរខ្ពស់ ប្រភពអ៊ីយ៉ុងបង្កើតប្លាស្មា ដែលត្រូវបានពន្លឿនទៅជាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់។ ធ្នឹមនេះបំផ្ទុះលើផ្ទៃនៃសមាសធាតុអុបទិក ដោយយកសម្ភារៈចេញពីមាត្រដ្ឋានអាតូមិច ដើម្បីសម្រេចបាននូវការកែតម្រូវ និងបញ្ចប់ផ្ទៃយ៉ាងជាក់លាក់។
ក្នុងនាមជាដំណើរការដែលមិនទាក់ទងគ្នា ការខាត់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងលុបបំបាត់ភាពតានតឹងផ្នែកមេកានិច និងជៀសវាងការខូចខាតលើផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ផលិតអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលប្រើក្នុងវិស័យតារាសាស្ត្រ លំហអាកាស សារធាតុ semiconductors និងកម្មវិធីស្រាវជ្រាវកម្រិតខ្ពស់។
គោលការណ៍ការងាររបស់ម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុង
ជំនាន់អ៊ីយ៉ុង
ឧស្ម័នអសកម្ម (ឧ. អាហ្គុន) ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលី ហើយត្រូវបានបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុងតាមរយៈចរន្តអគ្គិសនីដើម្បីបង្កើតប្លាស្មា។
ការបង្កើនល្បឿន និងការបង្កើតធ្នឹម
អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានពន្លឿនទៅជាច្រើនរយ ឬពាន់វ៉ុលអេឡិចត្រុង (eV) ហើយរាងជាកន្លែងដែលមានពន្លឺផ្តោតលើលំនឹង។
ការដកសម្ភារៈ
ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញសារធាតុអាតូមចេញពីផ្ទៃដោយមិនចាប់ផ្តើមប្រតិកម្មគីមី។
ការរកឃើញកំហុស និងការធ្វើផែនការផ្លូវ
គម្លាតនៃតួលេខផ្ទៃត្រូវបានវាស់ដោយ interferometry ។ មុខងារដកយកចេញត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីកំណត់ពេលវេលាស្នាក់នៅ និងបង្កើតផ្លូវឧបករណ៍ដែលបានកែលម្អ។
ការកែតម្រូវរង្វិលជុំ
វដ្ដនៃការដំណើរការ និងការវាស់វែងដដែលៗបន្តរហូតដល់គោលដៅជាក់លាក់ RMS/PV ត្រូវបានសម្រេច។
លក្ខណៈសំខាន់ៗរបស់ម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុង
ភាពឆបគ្នានៃផ្ទៃសកល- ដំណើរការផ្ទៃរាបស្មើ ស្វ៊ែរ រាងអេស្វ៊ែរ និងទម្រង់សេរី
អត្រាការដកយកចេញដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំងបំផុត។- បើកការកែតម្រូវតួលេខរងណាណូម៉ែត្រ
ដំណើរការគ្មានការខូចខាត- មិនមានពិការភាពផ្ទៃរង ឬការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធ
ការអនុវត្តជាប់លាប់- ដំណើរការបានល្អស្មើគ្នាលើវត្ថុធាតុដើមដែលមានភាពរឹងខុសៗគ្នា
ការកែតម្រូវប្រេកង់ទាប/មធ្យម- លុបបំបាត់កំហុសដោយមិនបង្កើតវត្ថុបុរាណពាក់កណ្តាល / ប្រេកង់ខ្ពស់។
តម្រូវការថែទាំទាប- ប្រតិបត្តិការបន្តយូរជាមួយនឹងពេលវេលារងចាំតិចបំផុត។
លក្ខណៈបច្ចេកទេសចម្បងនៃម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុង
| ធាតុ | ការបញ្ជាក់ |
| វិធីសាស្រ្តដំណើរការ | អ៊ីយ៉ុង sputtering នៅក្នុងបរិយាកាសទំនេរខ្ពស់។ |
| ប្រភេទដំណើរការ | ការគណនាផ្ទៃដែលមិនប៉ះ និងប៉ូលា |
| ទំហំស្នាដៃអតិបរមា | Φ4000 ម។ |
| អ័ក្សចលនា | អ័ក្ស 3 / 5 អ័ក្ស |
| ស្ថេរភាពនៃការដកចេញ | ≥95% |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ | PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (ធម្មតា RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
| សមត្ថភាពកែតម្រូវប្រេកង់ | លុបកំហុសប្រេកង់ទាប-មធ្យម ដោយមិនបង្ហាញពីកំហុសប្រេកង់មធ្យម/ខ្ពស់ |
| ប្រតិបត្តិការបន្ត | 3-5 សប្តាហ៍ដោយគ្មានការថែទាំ |
| ថ្លៃថែទាំ | ទាប |
សមត្ថភាពកែច្នៃរបស់ម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុង
ប្រភេទផ្ទៃដែលគាំទ្រ
សាមញ្ញ: ផ្ទះល្វែង, ស្វ៊ែរ, ព្រីស
ស្មុគ្រស្មាញ៖ ស៊ីមេទ្រី/ asymmetric asphere, off-axis asphere, cylindrical
ពិសេស៖ អុបទិកស្តើងជ្រុល, អុបទិកបន្ទះ, អុបទិកអឌ្ឍគោល, អុបទិកស្រប, ចានដំណាក់កាល, ផ្ទៃសេរី
សម្ភារៈដែលគាំទ្រ
កញ្ចក់អុបទិក៖ រ៉ែថ្មខៀវ មីក្រូគ្រីស្តាល់ K9 ជាដើម។
សមា្ភារៈអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ៖ ស៊ីលីកុន ហ្ស៊ឺម៉ាញ៉ូម ជាដើម។
លោហធាតុ៖ អាលុយមីញ៉ូម ដែកអ៊ីណុក យ៉ាន់ស្ព័រ ទីតានីញ៉ូម ជាដើម។
គ្រីស្តាល់: YAG, គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុន carbide តែមួយ។ល។
សមា្ភារៈរឹង / ផុយ: ស៊ីលីកុន carbide ។ល។
គុណភាពផ្ទៃ / ភាពជាក់លាក់
PV < 10 nm
RMS ≤ 0.5 nm
ដំណើរការករណីសិក្សានៃម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុង
ករណីទី 1 - កញ្ចក់ផ្ទះល្វែងស្តង់ដារ
បំណែកការងារ៖ ផ្ទះល្វែងរ៉ែថ្មខៀវ D630 ម។
លទ្ធផល: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm
ករណីទី 2 - កញ្ចក់ឆ្លុះកាំរស្មីអ៊ិច
Workpiece: 150 × 30 mm ស៊ីលីកូនផ្ទះល្វែង
លទ្ធផល: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; ជម្រាល 0.13 µrad
ករណីទី 3 - កញ្ចក់បិទអ័ក្ស
ស្នាដៃ៖ កញ្ចក់ដីបិទអ័ក្ស D326 ម។
លទ្ធផល: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm
FAQ នៃវ៉ែនតា Quartz
សំណួរគេសួរញឹកញាប់ - ម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុង
សំណួរទី 1: តើការខាត់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺជាអ្វី?
A1:ការដុសខាត់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺជាដំណើរការដែលមិនទាក់ទងគ្នាដែលប្រើធ្នឹមផ្តោតអារម្មណ៍នៃអ៊ីយ៉ុង (ដូចជា argon ions) ដើម្បីយកសម្ភារៈចេញពីផ្ទៃការងារ។ អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានពន្លឿន និងតម្រង់ឆ្ពោះទៅរកផ្ទៃ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការដកចេញនូវវត្ថុធាតុកម្រិតអាតូមិក ដែលនាំឱ្យមានភាពរលោងខ្លាំង។ ដំណើរការនេះលុបបំបាត់ភាពតានតឹងផ្នែកមេកានិច និងការខូចខាតលើផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់សមាសធាតុអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់។
សំណួរទី 2: តើផ្ទៃប្រភេទណាខ្លះអាចដំណើរការម៉ាស៊ីនប៉ូលា អ៊ីយ៉ុង ប៊ីម?
A2៖នេះ។ម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុងអាចដំណើរការផ្ទៃផ្សេងៗ រួមទាំងសមាសធាតុអុបទិកសាមញ្ញដូចជាផ្ទះល្វែង ស្វ៊ែរ និងព្រីសក៏ដូចជាធរណីមាត្រស្មុគស្មាញដូចជាaspheres, aspheres off-axis, និងផ្ទៃសេរី. វាមានប្រសិទ្ធភាពជាពិសេសលើវត្ថុធាតុដូចជាកញ្ចក់អុបទិក អុបទិកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ លោហធាតុ និងវត្ថុធាតុដើមរឹង/ផុយ។
សំណួរទី 3: តើសម្ភារៈអ្វីខ្លះដែលម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុងអាចដំណើរការជាមួយ?
A3៖នេះ។ម៉ាស៊ីនប៉ូលាអ៊ីយ៉ុងអាចប៉ូលាសម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ រួមមានៈ
-
កញ្ចក់អុបទិក៖ Quartz, microcrystalline, K9 ។ល។
-
សម្ភារៈអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ: ស៊ីលីកុន ហ្គឺម៉ាញ៉ូម។ល។
-
លោហធាតុ: អាលុយមីញ៉ូ ដែកអ៊ីណុក យ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម។ល។
-
សម្ភារៈគ្រីស្តាល់: YAG, single-crystal silicon carbide, ល។
-
សម្ភារៈរឹង / ផុយផ្សេងទៀត។៖ ស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ ជាដើម។
អំពីពួកយើង
XKH មានឯកទេសក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មី។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវសមាសធាតុអុបទិក Sapphire, គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទ, សេរ៉ាមិច, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, និង semiconductor crystal wafers ។ ជាមួយនឹងជំនាញដ៏ប៉ិនប្រសប់ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងពូកែក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ គោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ដែលឈានមុខគេក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។
