ម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងសម្រាប់ត្បូងកណ្តៀង SiC Si

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ម៉ាស៊ីនកែច្នៃ និងប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺផ្អែកលើគោលការណ៍នៃការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុង។ នៅក្នុងបន្ទប់ដែលមានកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ប្រភពអ៊ីយ៉ុងបង្កើតប្លាស្មា ដែលត្រូវបានបង្កើនល្បឿនទៅជាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់។ ធ្នឹមនេះបាញ់ទៅលើផ្ទៃនៃសមាសធាតុអុបទិក ដោយយកសម្ភារៈចេញក្នុងមាត្រដ្ឋានអាតូម ដើម្បីសម្រេចបានការកែតម្រូវផ្ទៃ និងការបញ្ចប់ដ៏ច្បាស់លាស់បំផុត។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ដ្យាក្រាមលម្អិត

ទិដ្ឋភាពទូទៅនៃផលិតផលម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

ក្នុងនាមជាដំណើរការមិនប៉ះ ការប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងលុបបំបាត់ភាពតានតឹងមេកានិច និងជៀសវាងការខូចខាតក្រោមដី ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការផលិតអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលប្រើក្នុងវិស័យតារាសាស្ត្រ អវកាស ស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងកម្មវិធីស្រាវជ្រាវកម្រិតខ្ពស់។

គោលការណ៍ធ្វើការរបស់ម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

ការបង្កើតអ៊ីយ៉ុង
ឧស្ម័នអសកម្ម (ឧ. អារហ្គុន) ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់សុញ្ញកាស ហើយត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដតាមរយៈការបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនី ដើម្បីបង្កើតជាប្លាស្មា។

ការបង្កើនល្បឿន និងការបង្កើតធ្នឹម
អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានបង្កើនល្បឿនដល់រាប់រយ ឬរាប់ពាន់អេឡិចត្រុងវ៉ុល (eV) ហើយត្រូវបានបង្កើតជាចំណុចធ្នឹមដែលមានស្ថេរភាព និងផ្តោត។

ការដកសម្ភារៈចេញ
ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញអាតូមចេញពីផ្ទៃដោយមិនចាំបាច់បង្កប្រតិកម្មគីមី។

ការរកឃើញកំហុស និងការធ្វើផែនការផ្លូវ
គម្លាតនៃរូបរាងផ្ទៃត្រូវបានវាស់ដោយប្រើអន្តរហ្វេរ៉ូមេទ្រី។ មុខងារដកចេញត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីកំណត់ពេលវេលាស្នាក់នៅ និងបង្កើតផ្លូវឧបករណ៍ដែលប្រសើរឡើង។

ការកែតម្រូវរង្វិលជុំបិទជិត
វដ្តដដែលៗនៃដំណើរការ និងការវាស់វែងបន្តរហូតដល់គោលដៅភាពជាក់លាក់ RMS/PV ត្រូវបានសម្រេច។

លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗនៃម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

ភាពឆបគ្នានៃផ្ទៃសកល– ដំណើរការផ្ទៃរាបស្មើ ស្វ៊ែរ អស្វ៊ែរ និងផ្ទៃសេរី

អត្រានៃការដកចេញដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំង– អនុញ្ញាតឱ្យមានការកែតម្រូវតួលេខក្រោមណាណូម៉ែត្រ

ដំណើរការដោយគ្មានការខូចខាត- គ្មានការខូចខាតក្រោមដី ឬការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធ

ការអនុវត្តជាប់លាប់- ដំណើរការល្អស្មើគ្នាលើសម្ភារៈដែលមានភាពរឹងខុសៗគ្នា

ការកែតម្រូវប្រេកង់ទាប/មធ្យម- លុបបំបាត់កំហុសដោយមិនបង្កើតវត្ថុបុរាណប្រេកង់មធ្យម/ខ្ពស់

តម្រូវការថែទាំទាប- ប្រតិបត្តិការបន្តរយៈពេលវែងជាមួយនឹងការផ្អាកដំណើរការតិចតួចបំផុត

លក្ខណៈបច្ចេកទេសចម្បងរបស់ម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

វត្ថុ	លក្ខណៈបច្ចេកទេស
វិធីសាស្ត្រដំណើរការ	ការបំភាយអ៊ីយ៉ុងនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានកន្លែងទំនេរខ្ពស់
ប្រភេទដំណើរការ	ការគណនា និងប៉ូលាផ្ទៃមិនប៉ះ
ទំហំការងារអតិបរមា	Φ4000 ម.ម
អ័ក្សចលនា	អ័ក្ស ៣ / អ័ក្ស ៥
ស្ថេរភាពនៃការដកយកចេញ	≥95%
ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS ធម្មតា < 1 nm; PV < 15 nm)
សមត្ថភាពកែតម្រូវប្រេកង់	លុបបំបាត់កំហុសប្រេកង់ទាប-មធ្យមដោយមិនបង្កឱ្យមានកំហុសប្រេកង់មធ្យម/ខ្ពស់
ប្រតិបត្តិការជាបន្តបន្ទាប់	៣-៥ សប្តាហ៍ដោយមិនចាំបាច់ថែទាំដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ថ្លៃថែទាំ	ទាប

សមត្ថភាពដំណើរការរបស់ម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

ប្រភេទផ្ទៃដែលគាំទ្រ

សាមញ្ញ៖ រាបស្មើ ស្វ៊ែរ ព្រីស

ស្មុគស្មាញ៖ រាងស្វ៊ែរស៊ីមេទ្រី/អសមមាត្រ រាងស្វ៊ែរក្រៅអ័ក្ស រាងស៊ីឡាំង

ពិសេស៖ អុបទិកស្តើងបំផុត អុបទិកបន្ទះ អុបទិកអឌ្ឍគោល អុបទិកអនុលោម បន្ទះដំណាក់កាល ផ្ទៃសេរី

សម្ភារៈដែលគាំទ្រ

កញ្ចក់អុបទិក៖ រ៉ែថ្មខៀវ មីក្រូគ្រីស្តាលីន K9 ជាដើម។

សម្ភារៈអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ៖ ស៊ីលីកុន ហ្សេម៉ាញ៉ូម ជាដើម។

លោហធាតុ៖ អាលុយមីញ៉ូម ដែកអ៊ីណុក យ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម ជាដើម។

គ្រីស្តាល់៖ YAG, ស៊ីលីកុនកាប៊ីតគ្រីស្តាល់តែមួយ។ល។

សម្ភារៈរឹង/ផុយស្រួយ៖ ស៊ីលីកុនកាប៊ីត ជាដើម។

គុណភាពផ្ទៃ / ភាពជាក់លាក់

ពន្លឺថ្ងៃ < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

ការសិក្សាករណីដំណើរការនៃម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

ករណីទី 1 – កញ្ចក់រាបស្មើស្តង់ដារ

បំណែកការងារ៖ រ៉ែថ្មខៀវសំប៉ែត D630 mm

លទ្ធផល៖ PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

ករណីទី 2 – កញ្ចក់ឆ្លុះកាំរស្មីអ៊ិច

បំណែកការងារ៖ ស៊ីលីកុនសំប៉ែត ១៥០ × ៣០ ម.ម

លទ្ធផល៖ PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; ជម្រាល 0.13 µrad

ករណីទី 3 – កញ្ចក់ក្រៅអ័ក្ស

បំណែកការងារ៖ កញ្ចក់ដីក្រៅអ័ក្ស D326 ម.ម

លទ្ធផល៖ PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់អំពីវ៉ែនតា Quartz

សំណួរដែលសួរញឹកញាប់ – ម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

សំណួរទី 1: តើការប៉ូលាដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងជាអ្វី?
ក១៖ការប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺជាដំណើរការមិនប៉ះដែលប្រើធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងផ្តោត (ដូចជាអ៊ីយ៉ុងអារហ្គុន) ដើម្បីយកសម្ភារៈចេញពីផ្ទៃការងារ។ អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានបង្កើនល្បឿន និងតម្រង់ទៅរកផ្ទៃ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការដកសម្ភារៈកម្រិតអាតូមិចចេញ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបញ្ចប់រលោងខ្លាំង។ ដំណើរការនេះលុបបំបាត់ភាពតានតឹងមេកានិច និងការខូចខាតក្រោមផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់សមាសធាតុអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់។

សំណួរទី 2: តើម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចដំណើរការលើផ្ទៃប្រភេទអ្វីខ្លះ?
ចម្លើយទី ២៖ទីម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចដំណើរការផ្ទៃជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងសមាសធាតុអុបទិកសាមញ្ញដូចជាសំប៉ែត ស្វ៊ែរ និងព្រីសក៏ដូចជាធរណីមាត្រស្មុគស្មាញដូចជារាងស្វ៊ែរ, រាងស្វ៊ែរក្រៅអ័ក្សនិងផ្ទៃរាងសេរីវាមានប្រសិទ្ធភាពជាពិសេសលើវត្ថុធាតុដើមដូចជាកញ្ចក់អុបទិក អុបទិកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ លោហធាតុ និងវត្ថុធាតុដើមរឹង/ផុយស្រួយ។

សំណួរទី 3: តើម៉ាស៊ីនប៉ូលា Ion Beam អាចប្រើជាមួយសម្ភារៈអ្វីខ្លះ?
ក៣៖ទីម៉ាស៊ីនប៉ូលាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអាចប៉ូលាសម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ រួមមាន៖

កញ្ចក់អុបទិក៖ រ៉ែថ្មខៀវ, មីក្រូគ្រីស្តាលីន, K9, ជាដើម។
សម្ភារៈអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ៖ ស៊ីលីកុន ហ្សេម៉ាញ៉ូម ជាដើម។
លោហធាតុ: អាលុយមីញ៉ូម ដែកអ៊ីណុក យ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម ជាដើម។
សម្ភារៈគ្រីស្តាល់៖ YAG, ស៊ីលីកុនកាប៊ីតគ្រីស្តាល់តែមួយ ជាដើម។
សម្ភារៈរឹង/ផុយស្រួយផ្សេងទៀត៖ ស៊ីលីកុនកាប៊ីត ជាដើម។

អំពីយើង

ក្រុមហ៊ុន XKH មានជំនាញក្នុងការអភិវឌ្ឍ ការផលិត និងការលក់កញ្ចក់អុបទិកពិសេស និងសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ថ្មីៗដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។ ផលិតផលរបស់យើងបម្រើដល់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចអុបទិក គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ និងយោធា។ យើងផ្តល់ជូននូវគ្រឿងបន្លាស់អុបទិក Sapphire គម្របកញ្ចក់ទូរស័ព្ទចល័ត សេរ៉ាមិច LT ស៊ីលីកុនកាបៃ SIC ឃ្វាត និងបន្ទះគ្រីស្តាល់ semiconductor។ ដោយមានជំនាញ និងឧបករណ៍ទំនើបៗ យើងមានឧត្តមភាពក្នុងការកែច្នៃផលិតផលមិនស្តង់ដារ ដោយមានគោលបំណងក្លាយជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ផ្នែកសម្ភារៈអុបទិកអេឡិចត្រូនិចឈានមុខគេ។