បន្ទះ LNOI (លីចូម នីអូបេត លើអ៊ីសូឡង់) ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទូរគមនាគមន៍ អេឡិចត្រូអុបទិកខ្ពស់
ដ្យាក្រាមលម្អិត
ទិដ្ឋភាពទូទៅ
នៅខាងក្នុងប្រអប់បន្ទះសៀគ្វីមានចង្អូរស៊ីមេទ្រី ដែលវិមាត្ររបស់វាមានលក្ខណៈឯកសណ្ឋានយ៉ាងតឹងរ៉ឹងដើម្បីទ្រទ្រង់ផ្នែកទាំងពីរនៃបន្ទះសៀគ្វី។ ប្រអប់គ្រីស្តាល់ជាទូទៅត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុ PP ប្លាស្ទិកថ្លា ដែលធន់នឹងសីតុណ្ហភាព ការពាក់ និងអគ្គិសនីឋិតិវន្ត។ ពណ៌ផ្សេងៗគ្នានៃសារធាតុបន្ថែមត្រូវបានប្រើដើម្បីសម្គាល់ផ្នែកដំណើរការលោហៈក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វី។ ដោយសារតែទំហំគន្លឹះតូចនៃបន្ទះសៀគ្វី លំនាំក្រាស់ និងតម្រូវការទំហំភាគល្អិតដ៏តឹងរ៉ឹងខ្លាំងក្នុងការផលិត ប្រអប់បន្ទះសៀគ្វីត្រូវតែធានាថាមានបរិស្ថានស្អាតដើម្បីភ្ជាប់ទៅនឹងប្រហោងប្រតិកម្មប្រអប់មីក្រូបរិស្ថាននៃម៉ាស៊ីនផលិតកម្មផ្សេងៗគ្នា។
វិធីសាស្រ្តផលិត
ការផលិតបន្ទះសៀគ្វី LNOI មានជំហានជាក់លាក់មួយចំនួន៖
ជំហានទី 1: ការដាក់អ៊ីយ៉ុងអេលីយ៉ូមអ៊ីយ៉ុងអេលីយ៉ូមត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងគ្រីស្តាល់ LN ដ៏ធំដោយប្រើឧបករណ៍បង្កប់អ៊ីយ៉ុង។ អ៊ីយ៉ុងទាំងនេះស្ថិតនៅជម្រៅជាក់លាក់មួយ បង្កើតបានជាប្លង់ខ្សោយមួយដែលនៅទីបំផុតនឹងសម្រួលដល់ការបំបែកស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
ជំហានទី 2: ការបង្កើតស្រទាប់ខាងក្រោមបន្ទះស៊ីលីកុន ឬបន្ទះ LN ដាច់ដោយឡែកមួយត្រូវបានអុកស៊ីតកម្ម ឬដាក់ជាស្រទាប់ជាមួយ SiO2 ដោយប្រើ PECVD ឬអុកស៊ីតកម្មកម្ដៅ។ ផ្ទៃខាងលើរបស់វាត្រូវបានធ្វើឱ្យរាបស្មើសម្រាប់ការភ្ជាប់ដ៏ល្អប្រសើរ។
ជំហានទី 3: ការភ្ជាប់ LN ទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់ LN ដែលបានដាំដោយអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានត្រឡប់ ហើយភ្ជាប់ទៅនឹងបន្ទះបន្ទះមូលដ្ឋានដោយប្រើការភ្ជាប់បន្ទះបន្ទះដោយផ្ទាល់។ នៅក្នុងការស្រាវជ្រាវ ប៊ែនហ្សូស៊ីក្លូប៊ូទីន (BCB) អាចត្រូវបានប្រើជាសារធាតុស្អិតដើម្បីសម្រួលការភ្ជាប់ក្រោមលក្ខខណ្ឌដែលមិនតឹងរ៉ឹង។
ជំហានទី 4: ការព្យាបាលដោយកម្ដៅ និងការបំបែកខ្សែភាពយន្តការដុតកម្ដៅធ្វើឱ្យសកម្មនូវការបង្កើតពពុះនៅជម្រៅដែលបានដាំបញ្ចូល ដែលអាចឱ្យមានការបំបែកស្រទាប់ស្តើង (ស្រទាប់ LN ខាងលើ) ពីផ្នែកដែលរឹង។ កម្លាំងមេកានិចត្រូវបានប្រើដើម្បីបញ្ចប់ការបកស្រទាប់ចេញ។
ជំហានទី 5: ការប៉ូលាផ្ទៃការប៉ូលាមេកានិចគីមី (CMP) ត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីធ្វើឱ្យផ្ទៃ LN ខាងលើរលោង ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពអុបទិក និងទិន្នផលឧបករណ៍។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស
| សម្ភារៈ | អុបទិក ថ្នាក់ លីណូបូអូ៣ វ៉ាហ្វ (ពណ៌ស or ខ្មៅ) | |
| គុយរី សីតុណ្ហភាព | ១១៤២ ± ០,៧ ℃ | |
| ការកាត់ មុំ | X/Y/Z ជាដើម | |
| អង្កត់ផ្ចិត/ទំហំ | ២"/៣"/៤" ±០.០៣មម | |
| ថុល(±) | <០,២០ ម.ម ±០,០០៥ ម.ម | |
| កម្រាស់ | ០.១៨ ～ ០.៥ ម.ម ឬច្រើនជាងនេះ | |
| បឋម រាបស្មើ | ១៦មម/២២មម/៣២មម | |
| ធីធីវី | <3μm | |
| ធ្នូ | -៣០ | |
| កោង | <៤០មីក្រូម៉ែត្រ | |
| ការតំរង់ទិស រាបស្មើ | មានទាំងអស់ | |
| ផ្ទៃ ប្រភេទ | ប៉ូលាម្ខាង (SSP) / ប៉ូលាសងខាងទ្វេ (DSP) | |
| ប៉ូលា ចំហៀង Ra | <0.5nm | |
| ស/ដ | ២០/១០ | |
| គែម លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យ | R=0.2មម ប្រភេទ C or ច្រមុះគោ | |
| គុណភាព | ឥតគិតថ្លៃ of បែក (ពពុះ និង ការរួមបញ្ចូល) | |
| អុបទិក ញៀនថ្នាំ | ម៉ាញ៉េស្យូម/ហ្វេ/ស័ង្កសី/ម៉ាញ៉េស្យូមអូ ល សម្រាប់ អុបទិក ថ្នាក់ អិលអិន នំវ៉ាហ្វើរ ក្នុងមួយ បានស្នើសុំ | |
| នំវ៉ាហ្វើរ ផ្ទៃ លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យ | សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ | លេខ = 2.2878 / Ne = 2.2033 @632nm រលកពន្លឺ/វិធីសាស្ត្រភ្ជាប់ព្រីស។ |
| ការបំពុល | គ្មាន | |
| ភាគល្អិត គ > ០.៣ មីក្រូ m | <=៣០ | |
| កោស, បន្ទះ | គ្មាន | |
| ចំណុចខ្វះខាត | គ្មានស្នាមប្រេះគែម, កោស, ស្នាមរណារ, ស្នាមប្រឡាក់ទេ | |
| ការវេចខ្ចប់ | បរិមាណ/ប្រអប់នំវ៉ាហ្វើរ | ២៥ ដុំក្នុងមួយប្រអប់ |
ករណីប្រើប្រាស់
ដោយសារតែភាពបត់បែន និងដំណើរការរបស់វា LNOI ត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅទូទាំងឧស្សាហកម្មជាច្រើន៖
ហ្វូតូនិក៖ឧបករណ៍ម៉ូឌុលបង្រួម ឧបករណ៍ពហុផ្លាស់ប្តូរ និងសៀគ្វីហ្វូតូនិក។
RF/សូរស័ព្ទ៖ឧបករណ៍កែប្រែសំឡេងអុបទិក តម្រង RF។
ការគណនាកង់ទិច៖ឧបករណ៍លាយប្រេកង់មិនមែនលីនេអ៊ែរ និងម៉ាស៊ីនភ្លើងគូហ្វូតុង។
ការពារជាតិ និងអវកាស៖ហ្គីរ៉ូអុបទិកដែលមានការខាតបង់ទាប ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរប្រេកង់។
ឧបករណ៍វេជ្ជសាស្ត្រ៖ជីវឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុបទិក និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាប្រេកង់ខ្ពស់។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់
សំណួរ៖ ហេតុអ្វីបានជា LNOI ត្រូវបានគេពេញចិត្តជាង SOI នៅក្នុងប្រព័ន្ធអុបទិក?
A:LNOI មានមេគុណអេឡិចត្រូអុបទិកខ្ពស់ជាង និងជួរតម្លាភាពកាន់តែទូលំទូលាយ ដែលអាចឱ្យមានដំណើរការខ្ពស់ជាងមុននៅក្នុងសៀគ្វីហ្វូតូនិក។
សំណួរ៖ តើ CMP ជាកាតព្វកិច្ចបន្ទាប់ពីបំបែកហើយឬនៅ?
A:បាទ/ចាស៎។ ផ្ទៃ LN ដែលលាតត្រដាងគឺរដុបបន្ទាប់ពីការកាត់អ៊ីយ៉ុង ហើយត្រូវតែប៉ូលាដើម្បីបំពេញតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសកម្រិតអុបទិក។
សំណួរ៖ តើទំហំ wafer អតិបរមាដែលអាចប្រើបានគឺជាអ្វី?
A:បន្ទះស្តើង LNOI ពាណិជ្ជកម្មភាគច្រើនមានទំហំ 3 អ៊ីញ និង 4 អ៊ីញ ទោះបីជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់មួយចំនួនកំពុងបង្កើតវ៉ារ្យ៉ង់ទំហំ 6 អ៊ីញក៏ដោយ។
សំណួរ៖ តើស្រទាប់ LN អាចប្រើឡើងវិញបានបន្ទាប់ពីបំបែកដែរឬទេ?
A:គ្រីស្តាល់មូលដ្ឋានអាចត្រូវបានប៉ូលាឡើងវិញ និងប្រើប្រាស់ឡើងវិញច្រើនដង ទោះបីជាគុណភាពអាចធ្លាក់ចុះបន្ទាប់ពីវដ្តច្រើនដងក៏ដោយ។
សំណួរ៖ តើបន្ទះសៀគ្វី LNOI ឆបគ្នាជាមួយដំណើរការ CMOS ដែរឬទេ?
A:មែនហើយ ពួកវាត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីឱ្យស្របនឹងដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកធម្មតា ជាពិសេសនៅពេលដែលប្រើស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុន។
