ប្រព័ន្ធតម្រង់ទិសបន្ទះសម្រាប់វាស់ទិសគ្រីស្តាល់

ប្រព័ន្ធតម្រង់ទិសបន្ទះសម្រាប់វាស់ស្ទង់ទិសគ្រីស្តាល់ រូបភាពពិសេស

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ឧបករណ៍តម្រង់ទិសបន្ទះស្តើងគឺជាឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដែលប្រើប្រាស់គោលការណ៍ឌីផ្រាក់ស្យុងកាំរស្មីអ៊ិចដើម្បីធ្វើឲ្យដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈមានប្រសិទ្ធភាពដោយកំណត់ទិសដៅគ្រីស្តាល់។ សមាសធាតុស្នូលរបស់វារួមមានប្រភពកាំរស្មីអ៊ិច (ឧ. Cu-Kα, រលកពន្លឺ 0.154 nm), ហ្គោនីយ៉ូម៉ែត្រដែលមានភាពជាក់លាក់ (គុណភាពបង្ហាញមុំ ≤0.001°) និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា (CCD ឬឧបករណ៍រាប់ពន្លឺឆ្លុះ)។ ដោយបង្វិលគំរូ និងវិភាគលំនាំឌីផ្រាក់ស្យុង វាគណនាសន្ទស្សន៍គ្រីស្តាល់ (ឧ. 100, 111) និងគម្លាតបន្ទះស្តើងជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃអ័ក្សវិនាទី ±30។ ប្រព័ន្ធនេះគាំទ្រប្រតិបត្តិការស្វ័យប្រវត្តិ ការជួសជុលក្នុងសុញ្ញកាស និងការបង្វិលពហុអ័ក្ស ដែលឆបគ្នាជាមួយបន្ទះស្តើងទំហំ 2-8 អ៊ីញសម្រាប់ការវាស់វែងយ៉ាងរហ័សនៃគែមបន្ទះស្តើង ប្លង់យោង និងការតម្រឹមស្រទាប់អេពីតាក់ស៊ី។ កម្មវិធីសំខាន់ៗពាក់ព័ន្ធនឹងការផ្ទៀងផ្ទាត់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់បន្ទះស្តើងស៊ីលីកុនដែលតម្រង់ទិសកាត់ បន្ទះស្តើងត្បូងកណ្ដៀង និងការផ្ទៀងផ្ទាត់ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់បន្ទះទួរប៊ីន ដែលបង្កើនលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី និងទិន្នផលបន្ទះឈីបដោយផ្ទាល់។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

សេចក្តីផ្តើមឧបករណ៍

ឧបករណ៍តម្រង់ទិសបន្ទះស្តើងៗ គឺជាឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដោយផ្អែកលើគោលការណ៍ឌីផ្រាក់ស្យុងកាំរស្មីអ៊ិច (XRD) ដែលភាគច្រើនត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក សម្ភារៈអុបទិក សេរ៉ាមិច និងឧស្សាហកម្មសម្ភារៈគ្រីស្តាល់ផ្សេងទៀត។

ឧបករណ៍ទាំងនេះកំណត់ទិសដៅនៃបន្ទះគ្រីស្តាល់ និងណែនាំដំណើរការកាត់ ឬប៉ូលាឲ្យបានច្បាស់លាស់។ លក្ខណៈពិសេសសំខាន់ៗរួមមាន៖

ការវាស់វែងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖មានសមត្ថភាពដោះស្រាយប្លង់គ្រីស្តាល់ដែលមានគុណភាពបង្ហាញមុំចុះដល់ 0.001°។
ភាពឆបគ្នានៃគំរូធំ៖ទ្រទ្រង់បន្ទះសៀគ្វីដែលមានអង្កត់ផ្ចិតរហូតដល់ 450 មីលីម៉ែត្រ និងទម្ងន់ 30 គីឡូក្រាម ដែលស័ក្តិសមសម្រាប់វត្ថុធាតុដើមដូចជា ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) ត្បូងកណ្តៀង និងស៊ីលីកុន (Si)។
ការរចនាម៉ូឌុល៖មុខងារដែលអាចពង្រីកបានរួមមាន ការវិភាគខ្សែកោងរញ្ជួយ ការគូសផែនទីពិការភាពផ្ទៃ 3D និងឧបករណ៍ដាក់ជង់សម្រាប់ដំណើរការគំរូច្រើន។

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេសសំខាន់ៗ

ប្រភេទប៉ារ៉ាម៉ែត្រ	តម្លៃ/ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធធម្មតា
ប្រភពកាំរស្មីអ៊ិច	Cu-Kα (ចំណុចប្រសព្វ 0.4×1 ម.ម), វ៉ុលបង្កើនល្បឿន 30 kV, ចរន្តបំពង់ដែលអាចលៃតម្រូវបាន 0–5 mA
ជួរមុំ	θ: -10° ដល់ +50°; 2θ: -10° ដល់ +100°
ភាពត្រឹមត្រូវ	គុណភាពបង្ហាញមុំផ្អៀង៖ ០,០០១° ការរកឃើញពិការភាពលើផ្ទៃ៖ ±៣០ វិនាទីអាក (ខ្សែកោងរញ្ជួយ)
ល្បឿនស្កេន	ការស្កេនអូមេហ្គាបញ្ចប់ការតំរង់ទិសឡាទីសពេញលេញក្នុងរយៈពេល 5 វិនាទី; ការស្កេនថេតាចំណាយពេល ~1 នាទី
ដំណាក់កាលគំរូ	ចង្អូររាងអក្សរ V, បឺតខ្យល់, បង្វិលច្រើនមុំ, ឆបគ្នាជាមួយបន្ទះស្តើងទំហំ 2–8 អ៊ីញ
មុខងារដែលអាចពង្រីកបាន	ការវិភាគខ្សែកោងរញ្ជួយ, ការធ្វើផែនទី 3D, ឧបករណ៍ដាក់ជង់, ការរកឃើញពិការភាពអុបទិក (កោស, GBs)

គោលការណ៍ធ្វើការ

១. មូលនិធិឌីផ្រាក់ស្យុងកាំរស្មីអ៊ិច

កាំរស្មីអ៊ិចធ្វើអន្តរកម្មជាមួយស្នូលអាតូម និងអេឡិចត្រុងនៅក្នុងបន្ទះគ្រីស្តាល់ ដែលបង្កើតជាលំនាំឌីផ្រាក់ស្យុង។ ច្បាប់របស់ប្រាក (nλ = 2d sinθ) គ្រប់គ្រងទំនាក់ទំនងរវាងមុំឌីផ្រាក់ស្យុង (θ) និងចន្លោះបន្ទះគ្រីស្តាល់ (d)។
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាចាប់យកលំនាំទាំងនេះ ដែលត្រូវបានវិភាគដើម្បីកសាងរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ឡើងវិញ។

២. បច្ចេកវិទ្យាស្កេនអូមេហ្គា

គ្រីស្តាល់វិលជាបន្តបន្ទាប់ជុំវិញអ័ក្សថេរ ខណៈពេលដែលកាំរស្មីអ៊ិចបំភ្លឺវា។
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាប្រមូលសញ្ញាឌីផ្រាក់ស្យុងឆ្លងកាត់ប្លង់គ្រីស្តាល់ឡូក្រាហ្វិកច្រើន ដែលអាចឱ្យកំណត់ទិសដៅឡាទីសពេញលេញក្នុងរយៈពេល 5 វិនាទី។

៣. ការវិភាគខ្សែកោងរញ្ជួយ

មុំគ្រីស្តាល់ថេរជាមួយនឹងមុំចូលកាំរស្មីអ៊ិចផ្សេងៗគ្នា ដើម្បីវាស់ទទឹងកំពូល (FWHM) ដោយវាយតម្លៃពិការភាពឡាទីស និងភាពតានតឹង។

៤. ការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ

ចំណុចប្រទាក់ PLC និងអេក្រង់ប៉ះអាចឱ្យមុំកាត់ដែលបានកំណត់ជាមុន មតិប្រតិកម្មតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការរួមបញ្ចូលជាមួយម៉ាស៊ីនកាត់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងរង្វិលជុំបិទជិត។

គុណសម្បត្តិ និងលក្ខណៈពិសេស

១. ភាពជាក់លាក់ និងប្រសិទ្ធភាព

ភាពត្រឹមត្រូវនៃមុំ ±0.001°, គុណភាពបង្ហាញរកឃើញកំហុស <30 វិនាទីអ័ក្ស។
ល្បឿនស្កេនអូមេហ្គាគឺលឿនជាងការស្កេន Theta ប្រពៃណី 200 ដង។

២. ម៉ូឌុលភាព និង សមត្ថភាពធ្វើមាត្រដ្ឋាន

អាចពង្រីកបានសម្រាប់កម្មវិធីឯកទេស (ឧទាហរណ៍ បន្ទះ SiC បន្ទះទួរប៊ីន)។
រួមបញ្ចូលជាមួយប្រព័ន្ធ MES សម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យផលិតកម្មតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង។

៣. ភាពឆបគ្នា និងស្ថេរភាព

អាចផ្ទុកសំណាកដែលមានរាងមិនទៀងទាត់ (ឧទាហរណ៍ ដុំត្បូងកណ្តៀងប្រេះ)។
ការរចនាដោយប្រើខ្យល់ត្រជាក់កាត់បន្ថយតម្រូវការថែទាំ។

៤. ប្រតិបត្តិការឆ្លាតវៃ

ការក្រិតតាមខ្នាតដោយចុចតែម្តង និងដំណើរការកិច្ចការច្រើនក្នុងពេលតែមួយ។
ការក្រិតតាមខ្នាតដោយស្វ័យប្រវត្តិជាមួយគ្រីស្តាល់យោងដើម្បីកាត់បន្ថយកំហុសរបស់មនុស្ស។

កម្មវិធី

១. ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

ទិសដៅកាត់បន្ទះស្តើងៗ៖ កំណត់ទិសដៅបន្ទះស្តើង Si, SiC, GaN សម្រាប់ប្រសិទ្ធភាពកាត់ដ៏ល្អបំផុត។
ការគូសផែនទីពិការភាព៖ កំណត់អត្តសញ្ញាណស្នាមឆ្កូត ឬការផ្លាស់ទីតាំងលើផ្ទៃ ដើម្បីបង្កើនទិន្នផលបន្ទះ។

២. សម្ភារៈអុបទិក

គ្រីស្តាល់មិនមែនលីនេអ៊ែរ (ឧ. LBO, BBO) សម្រាប់ឧបករណ៍ឡាស៊ែរ។
ការសម្គាល់ផ្ទៃយោងបន្ទះសៀគ្វីត្បូងកណ្តៀងសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម LED។

៣. សេរ៉ាមិច និងសមាសធាតុ

វិភាគទិសដៅគ្រាប់ធញ្ញជាតិនៅក្នុង Si3N4 និង ZrO2 សម្រាប់កម្មវិធីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

៤. ការស្រាវជ្រាវ និងការគ្រប់គ្រងគុណភាព

សាកលវិទ្យាល័យ/មន្ទីរពិសោធន៍សម្រាប់ការអភិវឌ្ឍសម្ភារៈថ្មី (ឧទាហរណ៍ យ៉ាន់ស្ព័រដែលមានអង់ត្រូពីខ្ពស់)។
ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពឧស្សាហកម្ម ដើម្បីធានាបាននូវភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃបរិមាណ។

សេវាកម្មរបស់ XKH

XKH ផ្តល់ជូននូវការគាំទ្របច្ចេកទេសពេញមួយជីវិតសម្រាប់ឧបករណ៍តំរង់ទិស wafer រួមទាំងការដំឡើង ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ ការវិភាគខ្សែកោងរញ្ជួយ និងការគូសផែនទីពិការភាពផ្ទៃ 3D។ ដំណោះស្រាយដែលត្រូវបានរៀបចំតាមតម្រូវការ (ឧទាហរណ៍ បច្ចេកវិទ្យាដាក់ជង់ ingot) ត្រូវបានផ្តល់ជូនដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មសម្ភារៈ semiconductor និងអុបទិកជាង 30%។ ក្រុមការងារដែលខិតខំប្រឹងប្រែងធ្វើការបណ្តុះបណ្តាលនៅនឹងកន្លែង ខណៈពេលដែលការគាំទ្រពីចម្ងាយ 24/7 និងការជំនួសគ្រឿងបន្លាស់រហ័សធានានូវភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍។

មុន៖ ថាសសេរ៉ាមិច SiC សម្រាប់ដាក់បន្ទះសៀគ្វីដែលមានភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់

បន្ទាប់៖ វត្ថុធាតុដើមត្បូងកណ្តៀងលឿង បង្កើតឡើងក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍សម្រាប់ផលិតគ្រឿងអលង្ការ