ឧបករណ៍កាត់ចិញ្ចៀនវ៉ាហ្វឺរដោយស្វ័យប្រវត្តិទំហំការងារ 8 អ៊ីញ/12 អ៊ីញ ការកាត់ចិញ្ចៀនវ៉ាហ្វឺរ

ឧបករណ៍កាត់ចិញ្ចៀនវ៉ាហ្វឺរដោយស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ ទំហំការងារ 8 អ៊ីញ/12 អ៊ីញ រូបភាពលេចធ្លោ

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

XKH បានបង្កើតប្រព័ន្ធកាត់គែមបន្ទះសៀគ្វីដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញដោយឯករាជ្យ ដែលតំណាងឱ្យដំណោះស្រាយកម្រិតខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្នែកខាងមុខ។ ឧបករណ៍នេះរួមបញ្ចូលបច្ចេកវិទ្យាគ្រប់គ្រងសមកាលកម្មពហុអ័ក្សប្រកបដោយភាពច្នៃប្រឌិត និងមានប្រព័ន្ធ spindle ដ៏រឹងមាំខ្ពស់ (ល្បឿនបង្វិលអតិបរមា៖ 60,000 RPM) ដែលផ្តល់នូវការកាត់គែមដ៏ជាក់លាក់ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់រហូតដល់ ±5μm។ ប្រព័ន្ធនេះបង្ហាញពីភាពឆបគ្នាដ៏ល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជាច្រើន រួមមានប៉ុន្តែមិនកំណត់ចំពោះ៖
១. បន្ទះស៊ីលីកុន (Si): ស័ក្តិសមសម្រាប់ដំណើរការគែមនៃបន្ទះស៊ីលីកុនទំហំ ៨-១២ អ៊ីញ;
2. ស៊ីមីកុងដុកទ័រសមាសធាតុ៖ សម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រជំនាន់ទីបីដូចជា GaAs និង SiC;
៣. ស្រទាប់ពិសេស៖ បន្ទះស្តើងសម្ភារៈ Piezoelectric រួមទាំង LT/LN;

ការរចនាម៉ូឌុលគាំទ្រដល់ការជំនួសយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃសម្ភារៈប្រើប្រាស់ច្រើនប្រភេទ រួមទាំងកាំបិតពេជ្រ និងក្បាលកាត់ឡាស៊ែរ ដោយមានភាពឆបគ្នាលើសពីស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។ សម្រាប់តម្រូវការដំណើរការឯកទេស យើងផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយដ៏ទូលំទូលាយដែលរួមមាន៖
· ការផ្គត់ផ្គង់សម្ភារៈកាត់ផ្តាច់មុខ
· សេវាកម្មកែច្នៃតាមតម្រូវការ
· ដំណោះស្រាយបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ	ឯកតា	លក្ខណៈបច្ចេកទេស
ទំហំការងារអតិបរមា	mm	ø12"
ស្ពីនឌល	ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធ	អ័ក្សតែមួយ
	ល្បឿន	៣,០០០–៦០,០០០ rpm
	ថាមពលទិន្នផល	១,៨ គីឡូវ៉ាត់ (២,៤ គីឡូវ៉ាត់ ជាជម្រើស) នៅ ៣០,០០០ នាទី⁻¹
	អង្កត់ផ្ចិតដាវអតិបរមា។	Ø58 ម.ម
អ័ក្ស X	ជួរកាត់	៣១០ ម.ម.
អ័ក្ស Y	ជួរកាត់	៣១០ ម.ម.
	ការកើនឡើងជំហាន	០,០០០១ ម.ម.
	ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំង	≤0.003 ម.ម./310 ម.ម., ≤0.002 ម.ម./5 ម.ម. (កំហុសតែមួយ)
អ័ក្ស Z	គុណភាពបង្ហាញចលនា	០,០០០០៥ ម.ម.
អ័ក្ស Z	សមត្ថភាពធ្វើម្តងទៀតបាន	០,០០១ ម.ម.
អ័ក្ស θ	ការបង្វិលអតិបរមា	៣៨០ ដឺក្រេ
ប្រភេទ Spindle		អ័ក្សតែមួយ បំពាក់ដោយកាំបិតរឹងសម្រាប់កាត់រង្វង់
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកាត់ចិញ្ចៀន	μm	±៥០
ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំង Wafer	μm	±៥០
ប្រសិទ្ធភាពបន្ទះស្តើងតែមួយ	នាទី/វ៉ាហ្វើរ	8
ប្រសិទ្ធភាពពហុស្រទាប់		បន្ទះសៀគ្វីរហូតដល់ ៤ ត្រូវបានដំណើរការក្នុងពេលដំណាលគ្នា
ទម្ងន់ឧបករណ៍	kg	≈៣,២០០
វិមាត្រឧបករណ៍ (ទទឹង × ជម្រៅ × កម្ពស់)	mm	២៧៣០ × ១៥៥០ × ២០៧០

គោលការណ៍ប្រតិបត្តិការ

ប្រព័ន្ធនេះសម្រេចបាននូវដំណើរការកាត់តម្រឹមដ៏ល្អឥតខ្ចោះតាមរយៈបច្ចេកវិទ្យាស្នូលទាំងនេះ៖

១. ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងចលនាឆ្លាតវៃ៖
· ដ្រាយម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ (ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំងម្តងទៀត៖ ±0.5μm)
· ការគ្រប់គ្រងសមកាលកម្មប្រាំមួយអ័ក្សដែលគាំទ្រដល់ការធ្វើផែនការគន្លងស្មុគស្មាញ
· ក្បួនដោះស្រាយការបង្ក្រាបរំញ័រពេលវេលាជាក់ស្តែងធានានូវស្ថេរភាពនៃការកាត់

2. ប្រព័ន្ធរកឃើញកម្រិតខ្ពស់៖
· ឧបករណ៍ចាប់កម្ពស់ឡាស៊ែរ 3D រួមបញ្ចូលគ្នា (ភាពត្រឹមត្រូវ៖ 0.1μm)
· ការកំណត់ទីតាំងដែលមើលឃើញ CCD ដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ (5 មេហ្គាភិចសែល)
· ម៉ូឌុលត្រួតពិនិត្យគុណភាពតាមអ៊ីនធឺណិត

៣. ដំណើរការស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ៖
· ផ្ទុក/ផ្ទុកដោយស្វ័យប្រវត្តិ (ឆបគ្នាជាមួយចំណុចប្រទាក់ស្តង់ដារ FOUP)
· ប្រព័ន្ធតម្រៀបឆ្លាតវៃ
· អង្គភាពសម្អាតរង្វិលជុំបិទជិត (អនាម័យ៖ ថ្នាក់ទី ១០)

កម្មវិធីធម្មតា

ឧបករណ៍នេះផ្តល់នូវតម្លៃដ៏សំខាន់នៅទូទាំងកម្មវិធីផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ៖

វាលដាក់ពាក្យ	សម្ភារៈដំណើរការ	គុណសម្បត្តិបច្ចេកទេស
ការផលិត IC	បន្ទះស៊ីលីកុន ៨/១២"	បង្កើនការតម្រឹមលីតូក្រាហ្វី
ឧបករណ៍ថាមពល	បន្ទះ SiC/GaN	ការពារកំហុសគែម
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS	នំវ៉ាហ្វើរ SOI	ធានានូវភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍
ឧបករណ៍ RF	វ៉ាហ្វឺរ GaAs	ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការប្រេកង់ខ្ពស់
ការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់	នំវ៉ាហ្វឺរដែលបានកែច្នៃឡើងវិញ	បង្កើនទិន្នផលវេចខ្ចប់

លក្ខណៈពិសេស

1. ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធបួនស្ថានីយ៍សម្រាប់ប្រសិទ្ធភាពដំណើរការខ្ពស់;
2. ការដោះចំណង និងដកចិញ្ចៀន TAIKO ដែលមានស្ថេរភាព
៣. ភាពឆបគ្នាខ្ពស់ជាមួយនឹងសម្ភារៈប្រើប្រាស់សំខាន់ៗ;
៤. បច្ចេកវិទ្យាកាត់តម្រឹមអ័ក្សច្រើនធានានូវការកាត់គែមដែលមានភាពជាក់លាក់។
៥. លំហូរដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញកាត់បន្ថយថ្លៃដើមកម្លាំងពលកម្មយ៉ាងច្រើន។
6. ការរចនាតុការងារតាមតម្រូវការអាចឱ្យដំណើរការរចនាសម្ព័ន្ធពិសេសមានស្ថេរភាព។

មុខងារ

1. ប្រព័ន្ធរកឃើញការធ្លាក់ចិញ្ចៀន
2. ការសម្អាតតុការងារដោយស្វ័យប្រវត្តិ;
៣. ប្រព័ន្ធបំបាត់ស្នាមជ្រួញដោយកាំរស្មីយូវីឆ្លាតវៃ
៤. ការកត់ត្រាប្រតិបត្តិការ
៥. ការរួមបញ្ចូលម៉ូឌុលស្វ័យប្រវត្តិកម្មរោងចក្រ

ការប្តេជ្ញាចិត្តសេវាកម្ម

XKH ផ្តល់ជូននូវសេវាកម្មគាំទ្រវដ្តជីវិតពេញលេញ និងទូលំទូលាយ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពឧបករណ៍ និងប្រសិទ្ធភាពប្រតិបត្តិការពេញមួយដំណើរការផលិតកម្មរបស់អ្នក។
១. សេវាកម្មប្ដូរតាមបំណង
· ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍តាមតម្រូវការ៖ ក្រុមវិស្វកម្មរបស់យើងសហការយ៉ាងជិតស្និទ្ធជាមួយអតិថិជនដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្រព័ន្ធ (ល្បឿនកាត់ ការជ្រើសរើសផ្លែកាំបិត។ល។) ដោយផ្អែកលើលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈជាក់លាក់ (Si/SiC/GaAs) និងតម្រូវការដំណើរការ។
· ការគាំទ្រការអភិវឌ្ឍដំណើរការ៖ យើងខ្ញុំផ្តល់ជូននូវដំណើរការគំរូជាមួយនឹងរបាយការណ៍វិភាគលម្អិត រួមទាំងការវាស់ស្ទង់ភាពរដុបគែម និងការគូសផែនទីពិការភាព។
· ការអភិវឌ្ឍរួមគ្នាលើសម្ភារៈប្រើប្រាស់៖ សម្រាប់សម្ភារៈថ្មីៗ (ឧទាហរណ៍ Ga₂O₃) យើងសហការជាមួយក្រុមហ៊ុនផលិតសម្ភារៈប្រើប្រាស់ឈានមុខគេ ដើម្បីអភិវឌ្ឍដាវ/ឡាស៊ែរអុបទិកជាក់លាក់សម្រាប់កម្មវិធី។

២. ការគាំទ្របច្ចេកទេសប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈ
· ការគាំទ្រនៅនឹងកន្លែងដែលមានជំនាញ៖ ចាត់តាំងវិស្វករដែលមានវិញ្ញាបនបត្រសម្រាប់ដំណាក់កាលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពសំខាន់ៗ (ជាធម្មតា 2-4 សប្តាហ៍) ដែលគ្របដណ្តប់លើ៖
ការក្រិតតាមខ្នាតឧបករណ៍ និងការកែលម្អដំណើរការ
ការបណ្តុះបណ្តាលសមត្ថភាពប្រតិបត្តិករ
ការណែនាំអំពីការរួមបញ្ចូលបន្ទប់ស្អាត ISO ថ្នាក់ទី 5
· ការថែទាំព្យាករណ៍៖ ការត្រួតពិនិត្យសុខភាពប្រចាំត្រីមាសជាមួយនឹងការវិភាគរំញ័រ និងការធ្វើរោគវិនិច្ឆ័យម៉ូទ័រ servo ដើម្បីការពារការផ្អាកដំណើរការដែលមិនបានគ្រោងទុក។
· ការត្រួតពិនិត្យពីចម្ងាយ៖ ការតាមដានដំណើរការឧបករណ៍តាមពេលវេលាជាក់ស្តែងតាមរយៈវេទិកា IoT របស់យើង (JCFront Connect®) ជាមួយនឹងការជូនដំណឹងដោយស្វ័យប្រវត្តិអំពីភាពមិនប្រក្រតី។

៣. សេវាកម្មបន្ថែមតម្លៃ
· មូលដ្ឋានចំណេះដឹងអំពីដំណើរការ៖ ចូលមើលរូបមន្តកាត់ដែលមានសុពលភាពជាង ៣០០ សម្រាប់សម្ភារៈផ្សេងៗ (ធ្វើបច្ចុប្បន្នភាពរៀងរាល់ត្រីមាស)។
· ការតម្រឹមផែនទីបង្ហាញផ្លូវបច្ចេកវិទ្យា៖ ធានាបាននូវការវិនិយោគរបស់អ្នកនាពេលអនាគតជាមួយនឹងផ្លូវធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវផ្នែករឹង/កម្មវិធី (ឧទាហរណ៍ ម៉ូឌុលរកឃើញពិការភាពដែលមានមូលដ្ឋានលើ AI)។
· ការឆ្លើយតបក្នុងគ្រាអាសន្ន៖ ធានាការធ្វើរោគវិនិច្ឆ័យពីចម្ងាយរយៈពេល ៤ ម៉ោង និងអន្តរាគមន៍នៅនឹងកន្លែងរយៈពេល ៤៨ ម៉ោង (គ្របដណ្តប់ទូទាំងពិភពលោក)។

៤. ហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធសេវាកម្ម
· ការធានាការអនុវត្ត៖ ការប្តេជ្ញាចិត្តតាមកិច្ចសន្យាចំពោះពេលវេលាដំណើរការឧបករណ៍ ≥98% ជាមួយនឹងពេលវេលាឆ្លើយតបដែលគាំទ្រដោយ SLA។

ការកែលម្អជាបន្តបន្ទាប់

យើងធ្វើការស្ទង់មតិពេញចិត្តរបស់អតិថិជនរៀងរាល់ពីរឆ្នាំម្តង និងអនុវត្តគំនិតផ្តួចផ្តើម Kaizen ដើម្បីបង្កើនការផ្តល់សេវា។ ក្រុមស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍របស់យើងបកប្រែការយល់ដឹងនៅនឹងកន្លែងទៅជាការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវឧបករណ៍ - 30% នៃការកែលម្អកម្មវិធីបង្កប់មានប្រភពមកពីមតិកែលម្អរបស់អតិថិជន។