4inch 6inch Lithium niobate single crystal film LNOI wafer
ដំណើរការរៀបចំសម្ភារ LNOI ត្រូវបានបែងចែកជាចម្បងជាបួនជំហានដូចខាងក្រោម
(1) អ៊ីយ៉ុងរបស់គាត់ត្រូវបានចាក់ចូលទៅក្នុងសម្ភារៈ X-cut lithium niobate នៅថាមពលជាក់លាក់មួយ ហើយបញ្ចូលទៅក្នុងស្រទាប់ពិការភាពនៅជម្រៅជាក់លាក់មួយនៅក្រោមស្រទាប់ផ្ទៃនៃ lithium niobate ។
(2) វត្ថុធាតុលីចូម niobate ផ្សាំអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនជាមួយនឹងស្រទាប់អុកស៊ីដដើម្បីបង្កើតជារចនាសម្ព័ន្ធភ្ជាប់។
(3) រចនាសម្ព័ន្ធភ្ជាប់ត្រូវបាន annealed ដើម្បីធ្វើឱ្យពិការភាពដែលណែនាំដោយ He ion implantation វិវឌ្ឍ និងប្រមូលផ្តុំដើម្បីបង្កើតជាស្នាមប្រេះ។ ទីបំផុត លីចូម niobate ត្រូវបានបំបែកចេញតាមស្រទាប់ពិការ ដើម្បីបង្កើតជាបន្ទះលីចូម niobate ដែលនៅសល់ និង wafers LNOI ។
កម្មវិធីនិងអត្ថប្រយោជន៍នៃ wafer LNOI
1-- Lithium niobate piezoelectric films (LNOI) មានមេគុណ piezoelectric ខ្ពស់ និង dielectric constant ដែលអាចបំប្លែងថាមពលមេកានិចទៅជាថាមពលអគ្គិសនី ឬថាមពលអគ្គិសនីទៅជាថាមពលមេកានិច។ ដូច្នេះវាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដូចជាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាបង្កើនល្បឿនឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាពជាដើម។ លើសពីនេះទៀត ខ្សែភាពយន្ត lithium niobate piezoelectric ក៏អាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧបករណ៍សូរស័ព្ទ និងឧបករណ៍រំញ័រដូចជា piezoelectric ceramic transducer complex piezoelectric ceramic filter ។
2- ស្ថេរភាពនៃខ្សែភាពយន្ត lithium niobate piezoelectric ក៏ជាគុណសម្បត្តិមួយរបស់វាផងដែរ។ ដោយសារតែស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់និងភាពអសកម្មគីមីរបស់វា ខ្សែភាពយន្ត lithium niobate piezoelectric អាចដំណើរការក្នុងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សំណើមខ្ពស់ អាស៊ីតខ្លាំង អាល់កាឡាំងខ្លាំង និងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់ផ្សេងទៀត ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងច្រេះល្អ និងធន់។
ខ្សែភាពយន្ត 3-Lithium niobate piezoelectric គឺជាសម្ភារៈ piezoelectric ថ្មីដែលមានដំណើរការល្អ និងស្ថេរភាព ហើយមានលទ្ធភាពប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍ជាបន្តបន្ទាប់នៃវិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកវិទ្យា ខ្សែភាពយន្ត lithium niobate piezoelectric នឹងត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងទីក្រុងកាន់តែច្រើន ដែលនាំមកនូវភាពងាយស្រួល និងការច្នៃប្រឌិតបន្ថែមទៀតដល់ជីវិតរបស់មនុស្ស។
ដ្យាក្រាមលម្អិត
