បន្ទះសៀគ្វី LiTaO3 ទំហំ 2អ៊ីញ-8អ៊ីញ ទំហំ 10x10x0.5 ម.ម 1sp 2sp សម្រាប់ទំនាក់ទំនង 5G/6G
ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស
| ឈ្មោះ | LiTaO3 ថ្នាក់អុបទិក | កម្រិតសំឡេងតារាង LiTaO3 |
| អ័ក្ស | កាត់ Z + / - 0.2 ° | កាត់មុំ Y ៣៦° / កាត់មុំ Y ៤២° / កាត់មុំ X (+ / - ០.២°) |
| អង្កត់ផ្ចិត | ៧៦.២មម + / - ០.៣មម/ ១០០±០.២មម | ៧៦.២មម + /-០.៣មម ១០០មម + /-០.៣មម ០រ ១៥០±០.៥មម |
| ប្លង់ទិន្នន័យ | ២២មម + / - ២មម | ២២មម + /-២មម ៣២មម + /-២មម |
| កម្រាស់ | ៥០០អ៊ុម + /-៥មម ១០០០អ៊ុម + /-៥មម | ៥០០អ៊ុម + /-២០មម ៣៥០អ៊ុម + /-២០មម |
| ធីធីវី | ≤ 10um | ≤ 10um |
| សីតុណ្ហភាពគុយរី | ៦០៥°C + / - ០,៧°C (វិធីសាស្ត្រ DTA) | ៦០៥°C + / -៣°C (វិធីសាស្ត្រ DTA |
| គុណភាពផ្ទៃ | ការប៉ូលាទ្វេភាគី | ការប៉ូលាទ្វេភាគី |
| គែមដែលមានជ្រុង | ការបង្គត់គែម | ការបង្គត់គែម |
លក្ខណៈសំខាន់ៗ
១. ការអនុវត្តអគ្គិសនី និងអុបទិក
· មេគុណអេឡិចត្រូអុបទិក៖ r33 ឈានដល់ 30 pm/V (X-cut) ខ្ពស់ជាង LiNbO3 1.5× ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការកែប្រែអេឡិចត្រូអុបទិកប្រេកង់ធំទូលាយបំផុត (កម្រិតបញ្ជូន >40 GHz)។
· ការឆ្លើយតបវិសាលគមទូលំទូលាយ៖ ជួរបញ្ជូន 0.4–5.0 μm (កម្រាស់ 8 mm) ជាមួយនឹងគែមស្រូបយកកាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេទាបរហូតដល់ 280 nm ដែលល្អសម្រាប់ឡាស៊ែរ UV និងឧបករណ៍ចំណុចកង់ទិច។
· មេគុណភ្លើងឆេះទាប៖ dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K) ដែលធានាបាននូវស្ថេរភាពនៅក្នុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
២. លក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅ និងមេកានិច
· ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ 4.6 W/m·K (X-cut) ខ្ពស់ជាងបួនដងនៃរ៉ែថ្មខៀវ រក្សាវដ្តកំដៅ -200–500°C។
· មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប៖ CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C) ដែលឆបគ្នាជាមួយការវេចខ្ចប់ស៊ីលីកុន ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ។
៣. ការគ្រប់គ្រងកំហុស និងភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការ
· ដង់ស៊ីតេបំពង់តូច៖ <0.1 សង់ទីម៉ែត្រ⁻² (បន្ទះស្តើងទំហំ 8 អ៊ីញ) ដង់ស៊ីតេនៃការផ្លាស់ទីតាំង <500 សង់ទីម៉ែត្រ⁻² (បានផ្ទៀងផ្ទាត់តាមរយៈការឆ្លាក់ KOH)។
· គុណភាពផ្ទៃ៖ ប៉ូលាដោយ CMP ដល់ Ra <0.5 nm បំពេញតាមតម្រូវការភាពរាបស្មើកម្រិតលីតូក្រាហ្វី EUV។
កម្មវិធីសំខាន់ៗ
| ដែន | សេណារីយ៉ូនៃការដាក់ពាក្យ | គុណសម្បត្តិបច្ចេកទេស |
| ការទំនាក់ទំនងអុបទិក | ឡាស៊ែរ DWDM 100G/400G ម៉ូឌុលកូនកាត់ហ្វូតូនិកស៊ីលីកុន | ការបញ្ជូនវិសាលគមទូលំទូលាយរបស់បន្ទះ LiTaO3 និងការបាត់បង់រលកណែនាំទាប (α <0.1 dB/cm2) អាចឱ្យមានការពង្រីក C-band ។ |
| ការទំនាក់ទំនង 5G/6G | តម្រង SAW (1.8–3.5 GHz), តម្រង BAW-SMR | បន្ទះវ៉ាហ្វឺរកាត់រាង Y 42° សម្រេចបាន Kt² >15% ដែលផ្តល់នូវការបាត់បង់ការបញ្ចូលទាប (<1.5 dB) និងការរំកិលចេញខ្ពស់ (>30 dB)។ |
| បច្ចេកវិទ្យា Quantum | ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាហ្វូតុងតែមួយ ប្រភពបំលែងចុះក្រោមប៉ារ៉ាម៉ែត្រ | មេគុណមិនមែនលីនេអ៊ែរខ្ពស់ (χ(2)=40 pm/V) និងអត្រារាប់ងងឹតទាប (<100 counts/s) បង្កើនភាពស្មោះត្រង់នៃកង់ទិច។ |
| ការចាប់សញ្ញាឧស្សាហកម្ម | ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ឧបករណ៍បំលែងចរន្ត | ការឆ្លើយតប piezoelectric របស់បន្ទះ LiTaO3 (g33 >20 mV/m) និងការអត់ធ្មត់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (>400°C) សាកសមនឹងបរិស្ថានខ្លាំង។ |
សេវាកម្ម XKH
១. ការផលិតបន្ទះសៀគ្វីតាមតម្រូវការ
· ទំហំ និងការកាត់៖ បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 2–8 អ៊ីញ ជាមួយនឹងការកាត់តាមអ័ក្ស X/Y/Z ការកាត់តាមអ័ក្ស Y 42° និងការកាត់មុំផ្ទាល់ខ្លួន (ភាពអត់ធ្មត់ ±0.01°)។
· ការគ្រប់គ្រងសារធាតុដូប៖ សារធាតុដូប Fe, Mg តាមរយៈវិធីសាស្ត្រ Czochralski (ជួរកំហាប់ 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពមេគុណអេឡិចត្រូអុបទិក និងស្ថេរភាពកម្ដៅ។
2. បច្ចេកវិទ្យាដំណើរការកម្រិតខ្ពស់
· ការប៉ូលាតាមកាលកំណត់ (PPLT): បច្ចេកវិទ្យា Smart-Cut សម្រាប់បន្ទះ ...
· ការរួមបញ្ចូលមិនដូចគ្នា៖ បន្ទះសៀគ្វីសមាសធាតុ LiTaO3 (POI) ដែលមានមូលដ្ឋានលើ Si ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ (300–600 nm) និងចរន្តកំដៅរហូតដល់ 8.78 W/m·K សម្រាប់តម្រង SAW ប្រេកង់ខ្ពស់។
៣. ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងគុណភាព
· ការធ្វើតេស្តពីដើមដល់ចប់៖ វិសាលគមរ៉ាម៉ាន (ការផ្ទៀងផ្ទាត់ពហុប្រភេទ) XRD (គ្រីស្តាល់) AFM (រូបរាងផ្ទៃ) និងការធ្វើតេស្តឯកសណ្ឋានអុបទិក (Δn <5×10⁻⁵)។
៤. ការគាំទ្រខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់សកល
· សមត្ថភាពផលិត៖ ទិន្នផលប្រចាំខែ >5,000 បន្ទះ (ទំហំ 8 អ៊ីញ៖ 70%) ជាមួយនឹងការដឹកជញ្ជូនបន្ទាន់ក្នុងរយៈពេល 48 ម៉ោង។
· បណ្តាញភស្តុភារកម្ម៖ គ្របដណ្តប់នៅអឺរ៉ុប អាមេរិកខាងជើង និងអាស៊ីប៉ាស៊ីហ្វិក តាមរយៈការដឹកជញ្ជូនតាមផ្លូវអាកាស/សមុទ្រ ជាមួយនឹងការវេចខ្ចប់ដែលគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព។









