គ្រីស្តាល់លីចូមតាតាឡាត LT (LiTaO3) ទំហំ 2អ៊ីញ/3អ៊ីញ/4អ៊ីញ/6អ៊ីញ ទិស Y-42°/36°/108° កម្រាស់ 250-500um

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

បន្ទះសៀគ្វី LiTaO₃ តំណាងឱ្យប្រព័ន្ធសម្ភារៈ piezoelectric និង ferroelectric ដ៏សំខាន់មួយ ដែលបង្ហាញពីមេគុណ piezoelectric ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពកម្ដៅ និងលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក ដែលធ្វើឱ្យវាមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់តម្រងរលកសូរស័ព្ទលើផ្ទៃ (SAW) ឧបករណ៍បង្កើតរលកសូរស័ព្ទច្រើន (BAW) ឧបករណ៍កែប្រែអុបទិក និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ។ XKH មានជំនាញក្នុងការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍បន្ទះសៀគ្វី LiTaO₃ ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ដោយប្រើប្រាស់ដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ Czochralski (CZ) កម្រិតខ្ពស់ និងដំណើរការ epitaxy ដំណាក់កាលរាវ (LPE) ដើម្បីធានាបាននូវភាពដូចគ្នានៃគ្រីស្តាល់ជាមួយនឹងដង់ស៊ីតេពិការភាព <100/cm²។

XKH ផ្គត់ផ្គង់បន្ទះ LiTaO₃ ទំហំ 3 អ៊ីញ, 4 អ៊ីញ និង 6 អ៊ីញ ជាមួយនឹងទិសដៅគ្រីស្តាល់ច្រើន (X-cut, Y-cut, Z-cut) ដែលគាំទ្រដល់ការដូប (Mg, Zn) និងការព្យាបាលដោយប៉ូល ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការកម្មវិធីជាក់លាក់។ ថេរឌីអេឡិចត្រិចរបស់សម្ភារៈ (ε~40-50) មេគុណ piezoelectric (d₃₃~8-10 pC/N) និងសីតុណ្ហភាព Curie (~600°C) បង្កើត LiTaO₃ ជាស្រទាប់ខាងក្រោមដែលពេញចិត្តសម្រាប់តម្រងប្រេកង់ខ្ពស់ និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលមានភាពជាក់លាក់។

ការផលិតរួមបញ្ចូលគ្នាបញ្ឈររបស់យើងគ្របដណ្តប់លើការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ ការកិនបន្ទះស្តើង ការប៉ូលា និងការដាក់បន្ទះស្តើង ដោយមានសមត្ថភាពផលិតប្រចាំខែលើសពី 3,000 បន្ទះ ដើម្បីបម្រើដល់ការទំនាក់ទំនង 5G គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ ហ្វូតូនិក និងឧស្សាហកម្មការពារជាតិ។ យើងផ្តល់ជូននូវការប្រឹក្សាបច្ចេកទេសដ៏ទូលំទូលាយ ការកំណត់លក្ខណៈគំរូ និងសេវាកម្មបង្កើតគំរូដើមក្នុងបរិមាណទាប ដើម្បីផ្តល់នូវដំណោះស្រាយ LiTaO₃ ដែលប្រសើរឡើង។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង

លក្ខណៈពិសេស

ប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេស

ឈ្មោះ	LiTaO3 ថ្នាក់អុបទិក	កម្រិតសំឡេងតារាង LiTaO3
អ័ក្ស	កាត់ Z + / - 0.2 °	កាត់មុំ Y ៣៦° / កាត់មុំ Y ៤២° / កាត់មុំ X(+ / - ០.២°)
អង្កត់ផ្ចិត	៧៦.២មម + / - ០.៣មម/១០០±០.២មម	៧៦.២មម + /-០.៣មម១០០មម + /-០.៣មម ០រ ១៥០±០.៥មម
ប្លង់ទិន្នន័យ	២២មម + / - ២មម	២២មម + /-២មម៣២មម + /-២មម
កម្រាស់	៥០០អ៊ុម + /-៥មម១០០០អ៊ុម + /-៥មម	៥០០អ៊ុម + /-២០មម៣៥០អ៊ុម + /-២០មម
ធីធីវី	≤ 10um	≤ 10um
សីតុណ្ហភាពគុយរី	៦០៥°C + / - ០,៧°C (វិធីសាស្ត្រ DTA)	៦០៥°C + / -៣°C (វិធីសាស្ត្រ DTA
គុណភាពផ្ទៃ	ការប៉ូលាទ្វេភាគី	ការប៉ូលាទ្វេភាគី
គែមដែលមានជ្រុង	ការបង្គត់គែម	ការបង្គត់គែម

លក្ខណៈសំខាន់ៗ

១.រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ និងដំណើរការអគ្គិសនី

· ស្ថេរភាពគ្រីស្តាល់៖ ការលេចធ្លោពហុប្រភេទ 4H-SiC 100% សូន្យការរួមបញ្ចូលពហុគ្រីស្តាល់ (ឧទាហរណ៍ 6H/15R) ជាមួយនឹងខ្សែកោងរញ្ជួយ XRD ទទឹងពេញនៅពាក់កណ្តាលអតិបរមា (FWHM) ≤32.7 arcsec។
· ចល័តភាពផ្ទុកខ្ពស់៖ ចល័តភាពអេឡិចត្រុង 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) និងចល័តភាពរន្ធ 380 cm²/V·s ដែលអាចឱ្យមានការរចនាឧបករណ៍ប្រេកង់ខ្ពស់។
·ភាពរឹងនៃវិទ្យុសកម្ម៖ ទប់ទល់នឹងការប៉ះពាល់នឹងវិទ្យុសកម្មនឺត្រុង 1 MeV ជាមួយនឹងកម្រិតខូចខាតនៃការផ្លាស់ទីលំនៅ 1×10¹⁵ n/cm² ដែលល្អសម្រាប់កម្មវិធីអវកាស និងនុយក្លេអ៊ែរ។

2. លក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅ និងមេកានិច

· ចរន្តកំដៅពិសេស៖ 4.9 W/cm·K (4H-SiC) ខ្ពស់ជាងស៊ីលីកុនបីដង គាំទ្រប្រតិបត្តិការលើសពី 200°C។
· មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប៖ CTE 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) ដែលធានាបាននូវភាពឆបគ្នាជាមួយនឹងការវេចខ្ចប់ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុន និងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅឱ្យនៅកម្រិតអប្បបរមា។

៣. ការគ្រប់គ្រងកំហុស និងភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការ

· ដង់ស៊ីតេបំពង់តូច៖ <0.3 សង់ទីម៉ែត្រ⁻² (បន្ទះស្តើងទំហំ 8 អ៊ីញ) ដង់ស៊ីតេនៃការផ្លាស់ទីតាំង <1,000 សង់ទីម៉ែត្រ⁻² (បានផ្ទៀងផ្ទាត់តាមរយៈការឆ្លាក់ KOH)។
· គុណភាពផ្ទៃ៖ ប៉ូលាដោយ CMP ដល់ Ra <0.2 nm បំពេញតាមតម្រូវការភាពរាបស្មើកម្រិតលីតូក្រាហ្វី EUV។

កម្មវិធីសំខាន់ៗ

ដែន	សេណារីយ៉ូនៃការដាក់ពាក្យ	គុណសម្បត្តិបច្ចេកទេស
ការទំនាក់ទំនងអុបទិក	ឡាស៊ែរ 100G/400G ម៉ូឌុលកូនកាត់ហ្វូតូនិកស៊ីលីកុន	ស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រាប់ពូជ InP អាចឱ្យមានគម្លាតប្រេកង់ដោយផ្ទាល់ (1.34 eV) និងអេតេរ៉ូអ៊ីពីតាស៊ីដែលមានមូលដ្ឋានលើ Si ដែលកាត់បន្ថយការបាត់បង់ការភ្ជាប់អុបទិក។
យានយន្តថាមពលថ្មី	ឧបករណ៍បម្លែងវ៉ុលខ្ពស់ 800V ឧបករណ៍សាកថ្មដែលភ្ជាប់មកជាមួយ (OBC)	ស្រទាប់ខាងក្រោម 4H-SiC ទប់ទល់នឹង >1,200 V ដែលកាត់បន្ថយការខាតបង់ចរន្តអគ្គិសនី 50% និងបរិមាណប្រព័ន្ធ 40%។
ទំនាក់ទំនង 5G	ឧបករណ៍ RF រលកមីលីម៉ែត្រ (PA/LNA) ឧបករណ៍ពង្រីកថាមពលស្ថានីយ៍មូលដ្ឋាន	ស្រទាប់ SiC ពាក់កណ្តាលអ៊ីសូឡង់ (រេស៊ីស្តង់ >10⁵ Ω·cm) អាចឱ្យមានការរួមបញ្ចូលគ្នាអកម្មប្រេកង់ខ្ពស់ (60 GHz+)។
ឧបករណ៍ឧស្សាហកម្ម	ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ឧបករណ៍បំលែងចរន្ត និងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យរ៉េអាក់ទ័រនុយក្លេអ៊ែរ	ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ InSb (គម្លាតប្រេកង់ 0.17 eV) ផ្តល់នូវភាពរសើបម៉ាញេទិករហូតដល់ 300% @ 10 T។

វ៉ាហ្វើរ LiTaO₃ - លក្ខណៈសំខាន់ៗ

១. ការអនុវត្ត Piezoelectric ដ៏អស្ចារ្យ

· មេគុណ piezoelectric ខ្ពស់ (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) អនុញ្ញាតឱ្យឧបករណ៍ SAW/BAW ប្រេកង់ខ្ពស់ដែលមានការបាត់បង់ការបញ្ចូល <1.5dB សម្រាប់តម្រង RF 5G

· ការភ្ជាប់អេឡិចត្រូមេកានិចដ៏ល្អឥតខ្ចោះគាំទ្រការរចនាតម្រងកម្រិតបញ្ជូនធំទូលាយ (≥5%) សម្រាប់កម្មវិធី sub-6GHz និង mmWave

២. លក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក

· តម្លាភាពនៃប្រេកង់ធំ (ការបញ្ជូន >70% ពី 400-5000nm) សម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូអុបទិកដែលសម្រេចបានកម្រិតបញ្ជូន >40GHz

· ភាពងាយរងគ្រោះអុបទិកមិនមែនលីនេអ៊ែរខ្លាំង (χ⁽²⁾~30pm/V) ជួយសម្រួលដល់ការបង្កើតអាម៉ូនិកទីពីរ (SHG) ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៅក្នុងប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ

៣. ស្ថិរភាពបរិស្ថាន

· សីតុណ្ហភាព Curie ខ្ពស់ (600°C) រក្សាបាននូវការឆ្លើយតប piezoelectric នៅក្នុងបរិស្ថានថ្នាក់រថយន្ត (-40°C ដល់ 150°C)

· ភាពអសកម្មខាងគីមីប្រឆាំងនឹងអាស៊ីត/អាល់កាឡាំង (pH1-13) ធានានូវភាពជឿជាក់ក្នុងការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្សាហកម្ម

៤. សមត្ថភាពប្ដូរតាមបំណង

· វិស្វកម្មទិសដៅ៖ X-cut (51°), Y-cut (0°), Z-cut (36°) សម្រាប់ការឆ្លើយតប piezoelectric ដែលបានរចនាឡើងសម្រាប់ការរចនាឡើង

· ជម្រើសប្រើប្រាស់សារធាតុដូប៖ មានផ្ទុកសារធាតុ Mg (ធន់នឹងការខូចខាតអុបទិក) មានផ្ទុកសារធាតុ Zn (បង្កើន d₃₃)

· ការបញ្ចប់ផ្ទៃ៖ ការប៉ូលារួចរាល់សម្រាប់ Epitaxial (Ra<0.5nm), ការរលាយលោហធាតុ ITO/Au

នំវ៉ាហ្វើរ LiTaO₃ - កម្មវិធីចម្បង

១. ម៉ូឌុលផ្នែកខាងមុខ RF

· តម្រង 5G NR SAW (ក្រុម n77/n79) ជាមួយមេគុណសីតុណ្ហភាពនៃប្រេកង់ (TCF) <|-15ppm/°C|

· ឧបករណ៍បញ្ចេញសំឡេង BAW កម្រិតធំទូលាយបំផុតសម្រាប់ WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)

២. ហ្វូតូនិករួមបញ្ចូលគ្នា

· ឧបករណ៍កែប្រែល្បឿនលឿន Mach-Zehnder (>100Gbps) សម្រាប់ការទំនាក់ទំនងអុបទិកដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា

· ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ QWIP ជាមួយនឹងរលកកាត់ផ្តាច់ដែលអាចលៃតម្រូវបានពី 3-14μm

៣. គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចរថយន្ត

· ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាចតរថយន្តអ៊ុលត្រាសោនដែលមានប្រេកង់ប្រតិបត្តិការ >200kHz

· ឧបករណ៍បញ្ជូនសញ្ញា piezoelectric TPMS ដែលអាចទប់ទល់នឹងវដ្តកម្ដៅពី -40°C ដល់ 125°C

៤. ប្រព័ន្ធការពារជាតិ

· តម្រងឧបករណ៍ទទួល EW ជាមួយនឹងការបដិសេធក្រៅប្រេកង់ >60dB

· បង្អួចអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដសម្រាប់ស្វែងរកមីស៊ីលដែលបញ្ជូនវិទ្យុសកម្ម MWIR ទំហំ 3-5μm

៥. បច្ចេកវិទ្យាថ្មីៗ

· ឧបករណ៍បម្លែងកង់ទិចអុបតូមេកានិចសម្រាប់ការបម្លែងមីក្រូវ៉េវទៅជាអុបទិក

· អារេ PMUT សម្រាប់ការថតរូបភាពអ៊ុលត្រាសោនវេជ្ជសាស្ត្រ (គុណភាពបង្ហាញ >20MHz)

នំវ៉ាហ្វើរ LiTaO₃ - សេវាកម្ម XKH

១. ការគ្រប់គ្រងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់

· ដំណើរការផលិតពីប៊ូលទៅជាបន្ទះស្តើង ជាមួយនឹងពេលវេលានាំមុខ ៤ សប្តាហ៍សម្រាប់លក្ខណៈបច្ចេកទេសស្តង់ដារ

· ការផលិតដែលសន្សំសំចៃថ្លៃដើម ដោយផ្តល់នូវអត្ថប្រយោជន៍ផ្នែកតម្លៃ 10-15% បើប្រៀបធៀបទៅនឹងដៃគូប្រកួតប្រជែង

២. ដំណោះស្រាយតាមតម្រូវការ

· ការដាក់បន្ទះជាក់លាក់តាមទិសដៅ៖ កាត់រាងជារាងអក្សរ Y 36°±0.5° សម្រាប់ដំណើរការ SAW ល្អបំផុត

· សមាសធាតុដែលមានសារធាតុបន្ថែម៖ សារធាតុបន្ថែម MgO (5mol%) សម្រាប់កម្មវិធីអុបទិក

សេវាកម្មលោហធាតុ៖ ការធ្វើលំនាំអេឡិចត្រូត Cr/Au (100/1000Å)

៣. ការគាំទ្រផ្នែកបច្ចេកទេស

· ការកំណត់លក្ខណៈសម្ភារៈ៖ ខ្សែកោងរញ្ជួយ XRD (FWHM<0.01°), ការវិភាគផ្ទៃ AFM

· ការក្លែងធ្វើឧបករណ៍៖ ការធ្វើគំរូ FEM សម្រាប់ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការរចនាតម្រង SAW

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

បន្ទះសៀគ្វី LiTaO₃ បន្តធ្វើឱ្យមានការរីកចម្រើនផ្នែកបច្ចេកវិទ្យានៅទូទាំងទំនាក់ទំនង RF ហ្វូតូនិករួមបញ្ចូលគ្នា និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាបរិស្ថានដ៏អាក្រក់។ ជំនាញសម្ភារៈ ភាពជាក់លាក់នៃការផលិត និងការគាំទ្រផ្នែកវិស្វកម្មកម្មវិធីរបស់ XKH ជួយអតិថិជនឱ្យយកឈ្នះលើបញ្ហាប្រឈមនៃការរចនានៅក្នុងប្រព័ន្ធអេឡិចត្រូនិចជំនាន់ក្រោយ។